饋入數量

1

1

2

4

9

電壓/電極

仟伏

0.3

1

0.3

1

1

電流/電極

安

70

200/1000

70

8

8

連接件：真空側

214-195

214-196

214-195

214-192

214-198

連接件：大氣側

214-176

214-177

214-176

214-173

214-181

連接件：大氣側，水冷

214-178

密閉度

毫巴.升/秒

5X10^-11

壓強（）

1X10^-10毫巴。。。2巴

法蘭

304/1.4301

304/1.4301

304/1.4301

304/1.4301

304/1.4301

導體

OFC2.0040

OFC2.0040

OFC2.0040

304/1.4301

304/1.4301

絕緣件

AL₂O₃

AL₂O₃

AL₂O₃

AL₂O₃

AL₂O₃

重量

0.15

0.5

0.45

0.3

0.5

連接件：真空側

2

1

2

5

10

電流

安

20

1000

100

12

12

燒烤溫度

^oC

400

400

400

400

400

材料

304/1.4301

2.0061

304/1.4301

304/1.4301

304/1.4301

連接件：大氣側

件數

2

1

2

5

10

電流 zui大

安

100

250

100

25

25

絕緣

伏交流/伏直流

未絕緣

30/60

30/60

30/60

30/60

燒烤溫度

^oC

150

150

50

50

50

觸點

鍍銀黃銅

鍍銀黃銅

鍍銀黃銅

鍍金黃銅

鍍金黃銅